【简介:】真空技术是电子管制、半导体提纯等电子领域必不可少的一项技术。它被广泛地应用于各种精密仪器的生产制造上,通常情况下,压强在10-3-10-8乇(真空单位,乇=1毫米汞柱的压强)的称为
真空技术是电子管制、半导体提纯等电子领域必不可少的一项技术。它被广泛地应用于各种精密仪器的生产制造上,通常情况下,压强在10-3-10-8乇(真空单位,乇=1毫米汞柱的压强)的称为高真空,小于10-8乇的称为超高真空。1976年10月,奥森研究中心的汤姆逊利用极低温度使气体冷凝,然后将冷凝的气体从真空泵系统里除去的方法,获得了真空为10-14的数量级,创造了最高真空的世界纪录。