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上海微电子已经成功生产光刻机了么?这个领域国内是什么水平?

作者:Anita 发布时间: 2022-06-15 02:54:57

简介:】明年就能生产28纳米光刻机。如果顺利生产28纳米光刻机,中国百分之九十的芯片制造都可以自足。
7纳米5纳米只有用在高端手机上,电脑14纳米都算是非常先进,其他行业48纳米制成的

明年就能生产28纳米光刻机。如果顺利生产28纳米光刻机,中国百分之九十的芯片制造都可以自足。

7纳米5纳米只有用在高端手机上,电脑14纳米都算是非常先进,其他行业48纳米制成的芯片都已经是非常先进了。台积电三星中芯国际不代工,华为干脆暂时放下手机业务,转战别的领域。购买国产48纳米光刻机,足以让华为不被卡脖子。

光刻机难不难确实很难,对企业来说是真难,主要成本控制问题。如果成本控制不再考虑中,光刻机难不难,回答是给几年时间完全能弥补上技术的差距。国家一旦调动各方力量,二三年基本上能接近荷兰ASML厂家的水平。

上海微电子可以制造光刻机不是啥新鲜事,人家从2002年就开始立项研发光刻机了,只是我们技术实在落后,人才又缺乏,因此进展一直比较缓慢。不过,进入2010年后国产研发团队不断攻克光刻机核心子系统的技术南广,未来我国光刻机将会迎来较快的发展,基本上可以从低端跃至中端,然后将向最后的高端领域发起冲击。

1、上海微电子现有情况:目前国内研发光刻机的厂商不少,但属于领先地位的就只有上海微电子,能量产的90nm光刻机,其他厂商只能生产200nm、300nm这样的光刻机,但在全球光刻机领域上海微电子属于低端。

目前,有消息称上海微电子正在研发28nm节点光刻机,但实际情况未知。如果说这台28nm节点的光刻机能研发成功,那么我国芯片生产或将基本解决自主问题。

因为,28nm节点的光刻机不仅仅只能用来生产28nm制程芯片,通过套刻多重曝光可以实现10nm芯片,如果代工厂技术过关,甚至可以实现7nm制程芯片。

这意味着在芯片制造设备领域,我们可以实现较为先进的芯片技术,至于具体能不能生产就看中芯这类代工厂的生产技术了。

2、我国在光刻机领域的水平:全球能做光刻机的厂商其实没几家,除了荷兰ASML,剩下就是日系厂商尼康和佳能,以及我们的上海微电子。

但是从这2年的发展来看,未来这个领域应该只有我们和ASML竞争了。日系厂商基本属于出局状态,这块它们不愿意再进行大量的投资,一句话烧不起这钱。

目前我国对于光刻机基本属于举国体制运作,2009年中科院牵头执行了02专项计划,专门来解决光刻机的问题。光刻机由于整个系统复杂,牵涉技术领域较多,因为各核心子系统均分配给了不同的技术团队和厂商来研发。

截至2020年,我们已经解决了双工件台(下图)、浸液系统、准分子激光光源等核心子系统,基本扫清了光刻机的主要技术难关,这些子系统如果放眼全球,基本上都是全球第二或第三掌握这些技术的厂商。

后续就看上海微电子如今将这些子系统进行整合了,他们只是系统制造商。

另外最先进光刻机使用的EUV光源,我们也正在研发中,按早前的规划似乎要到2030年。

Lscssh科技官观点:综合来说,现阶段我国在光刻机领域正逐步发展中,也取得了一定的成绩,如果小道消息靠谱,那预估5年内我们或许可以有较为先进的光刻机(28nm节点光刻机)。但是,要想真正冲击高端领域,我们还需要花费很长的时间,至少10年起步甚至要更长时间。

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