光刻机的上游产业是什么，上游的上游又是什么？

【简介：】光刻机上游产业除了螺丝电线铁皮电气可湊十几万个零件常见的产业外，还有关键的1/磨高端nM级玻璃镜头的，2/制作nM级工件移动台的，3/制作nM级极紫外光EUV激光器4/制作光过滤器，5/

光刻机上游产业除了螺丝电线铁皮电气可湊十几万个零件常见的产业外，还有关键的1/磨高端nM级玻璃镜头的，2/制作nM级工件移动台的，3/制作nM级极紫外光EUV激光器4/制作光过滤器，5/高端温控，电压控制器，6/高真空抽气设备，真空工作室，7/观测用0. 1nM扫描电镜，以及电显示显微镜，8/真空电子枪。以上设备应该外国没人卖，但是必须有，国外有，国内应做得出来的。