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既然研发制造芯片的光刻机那么难,那当初是怎么生产出来的?

作者:Anita 发布时间: 2022-06-11 23:16:26

简介:】全球光刻机发展史,光刻机是荷兰阿斯麦ASML首创的吗?很多人都以为光刻机是由全球最先进的光刻机制造商荷兰阿斯麦ASML首次生产制造的?
甚至,还有人认为,光刻机这种极其复杂的光刻

全球光刻机发展史,光刻机是荷兰阿斯麦ASML首创的吗?很多人都以为光刻机是由全球最先进的光刻机制造商荷兰阿斯麦ASML首次生产制造的?

甚至,还有人认为,光刻机这种极其复杂的光刻机,难道不是外星科技的产物吗?

其实,并非如此!

阿斯麦ASML是全球第一家,也是唯一一家研制出EUV极紫外光刻机的厂商;

只有EUV光刻机(采用了波长为13.4nm的紫外线)才能够用于7nm制程及更先进制程芯片的制造!

阿斯麦ASML也是站在众多前人巨人的肩上成长起来的!

那么全球第一台光刻机到底是怎么来的呢?

1947年12月,大名鼎鼎的美国贝尔实验室的肖克利(“晶体管之父”)、巴丁和布拉顿共同研制出了一种点接触型的锗晶体管!(三人因此获得了1956年的诺贝尔物理学奖)

自此以后,光刻技术才有了发展的契机!

……

1958年,德州仪器的杰克·基尔比(集成电路的两位发明人之一)提出并发明了锗基底扩散工艺的集成电路!(2000年,杰克·基尔比因集成电路的发明被授予诺贝尔物理学奖,这是一个“迟到”了42年的诺贝尔物理学奖)

如果没有杰克·基尔比,就很难有如今的半导体产业盛况,电脑、手机等电子产品不知道牛年马月才能进入每一个家庭!

1959年,仙童半导体的罗伯特·诺伊斯(英特尔创始人之一)发明了硅基底平面工艺的集成电路!

由于硅集成电路变成了集成电路市场的主流,罗伯特·诺伊斯与杰克·基尔比,一起被誉为“集成电路之父”!

……

1956年,美国贝尔实验室用晶体管代替电子管,制成了世界上第一台全晶体管计算机!

随后,仙童半导体研制出了世界上第一个适用单结构硅晶片。

20世纪60年代,仙童半导体提出了CMOS IC(集成电路)制造工艺;

IBM研制出了第一台IC(集成电路)计算机IBM360;

美国GCA公司(美国地球物理学公司)开发出了光学图形发生器和分布重复精缩机!

……

20世纪70年代,GCA开发出第一台分布重复投影曝光机(光刻机)!

20世纪80年代,SVGL(美国硅谷集团光刻系统公司)开发出了第一代步进扫描投影曝光机(光刻机)!

1995年,日本佳能Cano研制出了300mm晶圆曝光机(光刻机)!

随后,阿斯麦ASML推出步进扫描曝光机(光刻机),采用的是193nm的波长!

2012年,为了推进EUV极紫外光刻机等先进设备的研制,阿斯麦ASML推出了“客户联合投资专案”,英特尔、台积电、三星成为了股东,分别持有15%、5%、3%左右的股权!

当阿斯麦ASML搞定EUV光刻机之后,英特尔、台积电、三星享有了优先采购权!

咱们国内的上海微电子,研制的光刻机已经能够满足90nm光刻工艺需求!

光刻机研制之路,难如上青天!

哪怕它再难,咱们也要将它征服!

……

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