【简介：】MEMS，即微机电系统，是一种结合机械和电子的半导体技术，最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻
MEMS，即微机电系统，是一种结合机械和电子的半导体技术，最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。
Apple的iPhone系列无疑是加速MEMS在手机应用的推动者，在iPhone之后越来越多基于MEMS的手机应用开始被推广。MEMS在手持装置上的组件包含陀螺仪、新一代三轴加速度计、压力传感器以及模块设计等，应用上除了可触控移动浏览页面、倾斜手机以卷动网页、改变手机方向角度显示图片外，也可作为计步器、导览接口、LBS定位信息服务、硬盘地心引力防撞保护、个人惯性导航、照相防手震强化影像稳定度、智能互动游戏等。内建MEMS功能的手机也可作为检测绝对气压或高度的感测装置使用；手机MEMS传感器亦能检测用户拿起手机是否靠近耳边皮肤、藉此自动关闭手机显示屏幕来节省电源；也可将手机面朝下放在桌上便可关闭铃声等。
2008年在经济危机的影响下，全球的消费电子产品及汽车销量均有下降，并且这种下降的趋势在2009年继续蔓延。美国汽车两大巨头面临破产的风险，这都对MEMS的市场应用产生了强烈的冲击。尽管如此，MEMS的未来前景仍然充满希望，因为消费电子的出货量有所下降但单一产品中的MEMS应用比例在增加，而且欧美国家在汽车ESC、TPMS等领域出台了强制性配置法规也确保了MEMS产品的稳定供应。
MEMS产品多为定制化生产，对晶圆代工厂的要求也比较高，并不像标准CMOS制程用1个制程就可替不同客户代工，因此大陆的晶圆代工厂几乎没有涉足。不过2008年10月底，中芯国际宣布进入MEMS代工行列。2009年初，方正微电子高层访问团拜访台湾多个MEMS设计公司。另外有消息称，上海和无锡有建设MEMS产业园的计划，中国的MEMS业者也在积极寻找机会分享MEMS产业所带来的机遇。
